- 氦质谱检漏仪的维护方法及常见故障的处理
- 发布时间：2021-09-10 浏览量：6122
- 一、机械维护 检查泵的油量，如果低于低标线，则加入泵油；如果变黑或浑浊，则更换泵。使用方法见机械泵说明书。 二、清洗 泄漏探测器没有氦进入，但有一定的泄漏率指示，长期存在。这主要是由于检漏口、波纹管、密封圈等被污染后吸附的氦...
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- 气管工程中常说的氦气检漏(氦检)是怎样的？
- 发布时间：2021-09-10 浏览量：6225
- 在气体管道工程中，由于施工中的各种因素，一些管道等连接处可能会有一些肉眼难以察觉的小孔，使用时会导致泄漏和事故。特别是在半导体、集成电路等微电子行业输送超高纯电子气体的气体管道工程中，如果发生泄漏，会对生产安全产生很大影响，因此检漏非常重要。 ...
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- 不同气体和压力对真空漏孔漏率的影响
- 发布时间：2021-09-10 浏览量：4822
- 针对目前大多数标准漏孔的漏率都是在He 和入口压力为100 kPa 下的漏率，采用定容变压法校准了铭牌漏率为2.3 × 10-6 Pa·m3/s 的标准真空漏孔在使用H2、He、D2三种气体时，在不同入口压力下的漏率。预先对系统进行了加热除气后计算了系统本底漏率大...
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- 氦质谱检漏仪主要性能指标试验方法
- 发布时间：2021-09-10 浏览量：3504
- 灵敏度、反应时间、清除时间、工作真空度、极限真空度及仪器入口处抽速是评价氦质谱检漏仪的主要性能指标。 ①灵敏度及其校准 氦质谱检漏仪灵敏度，通常指仪器的*小可检漏率。记为qL.min，...
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- 氦质检漏仪在科技时代的应用与发展
- 发布时间：2021-09-10 浏览量：3075
- 氦泄漏检测是利用泄漏检测仪从真空中氦分压变化检测泄漏的测量方法。 其它检测方法是根据体积、压力、真空度等来判断，相对来说，氦气检漏可以不依靠操作者的技能，就能获得高灵敏度、高精度的压倒性。即使泄漏很小，也不需要花很长时间来判断，所以可以快速检测。此外，...
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